属于这类分析方法的有原子发射光谱法（AES）、原子吸收光谱法（AAS）、原子荧光光谱法（AFS）以及X射线荧光光谱法（XFS，这是应对欧盟RoHS指令最主要的仪器）等。
（1）原子发射光谱分析（AES），它是利用原子对辐射的发射性质建立起来的分析方法，主要用于微量多元素的定量分析。
（2）原子吸收光谱分析（AAS），它是利用原子对辐射的吸收性质建立起来的分析方法，主要用于微量单元素的定量分析。
（3）原子荧光光谱分析（AFS），它是利用原子对辐射激发的再发射性质建立起来的分析方法。主要用于微量单元素的定量分析。
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